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国产5nm半导体设备已获得台积电订单
文章来源:http://www.gamekong.cn  发布日期:2020-04-22


                                            

                                                                                

国产5nm半导体设备已获得台积电订单



除了咱们都知道的光刻机,半导体设备临产中还需要各种设备,国内的中微半导体设备公司现已能够临产高端刻蚀设备,其5nm刻蚀机现已批量临产,用于台积电的5nm临产线中。

中微半导体上周末发布了2019年财报,全年完毕经营收入19.47亿元,同比增加18.77%;完毕归母净利润1.89亿元,同比增加107.51%。

根据该公司年报,中微公司开发的高端刻蚀设备已运用在世界闻名客户65纳米到7纳米的芯片临产线上。

一同,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开宣告5纳米刻蚀设备用于若干要害进程的加工,并已获得作业抢先客户的批量订单——虽然中微没有明说,但是这家客户就是台积电,也只需他们量产了5nm工艺。



现在公司正在协作客户需求,开发新一代刻蚀设备和包含更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够包含5纳米以下刻蚀需求和更多不同要害运用的设备。

在3D闪存领域,中微半导体电容性等离子体刻蚀设备可运用于64层的量产,一同根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够包含128层要害刻蚀运用以及相对应的极深邃宽比的刻蚀设备和工艺。

此外,中微公司的电理性等离子刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的临产线上量产。

根据客户的技术翻开需求,正在进行下一代产品的技术研发,以满足7纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求,并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

                    

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